一种真空滑台
授权
摘要
本实用新型提供一种真空滑台，包括滑台、移动台以及驱动装置；滑台上设有滑轨，滑轨两端安装有轴承座，轴承座内安装有轴承，两个轴承间安装有滚珠丝杠，滚珠丝杠上套设有移动轴套，移动轴套内侧壁对应滚珠丝杠设有多个第一滚珠；移动台安装在移动轴套顶部；驱动装置用于驱动滚珠丝杠转动；滑台上设有排气孔。本实用新型提供的一种真空滑台，结构简单，磨损较少、不易造成真空腔体污染，可满足高真空度环境使用。
基本信息
专利标题 ：
一种真空滑台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022339867.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-20
授权号 ：
CN214489615U
授权日 ：
2021-10-26
发明人 ：
张晓波王秉稷
申请人 ：
微纳光科（廊坊）仪器有限公司
申请人地址 ：
河北省廊坊市大厂回族自治县大厂检验认证产业园6号南楼
代理机构 ：
北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
施艳荣
优先权 ：
CN202022339867.3
主分类号 ：
B23Q1/25
IPC分类号 ：
B23Q1/25 B23Q5/40 B25H1/14 B25H1/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B23
机床；其他类目中不包括的金属加工
B23Q
机床的零件、部件或附件，如仿形装置或控制装置；以特殊零件或部件的结构为特征的通用机床；不针对某一特殊金属加工用途的金属加工机床的组合或联合
B23Q1/00
一般构成机床外形所包括的部件，特别是较大的固定部件
B23Q1/25
可移动的或可作调整的工件或工具支承物
法律状态
2021-10-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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