电池片防衰减表面处理臭氧浓度实时监测装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种电池片防衰减表面处理臭氧浓度实时监测装置，设在太阳能电池片防衰减表面处理装置的箱体旁侧，所述的箱体从下至上包括密封连接的进气室、反应室以及排气室，所述监测装置具有用于检测臭氧浓度的检测仪，检测仪的出口端与所述反应室侧壁管路连接，检测仪的进口端管路连接有抽气泵，抽气泵进气端与反应室侧壁管路连接。本实用新型通过抽气泵将反应室内的少量气体抽出，至检测仪进行臭氧浓度检测，以判断臭氧浓度是否在设定值之上，一旦报警提示臭氧浓度低于设定值，则可及时调节臭氧发生器输出量，确保电池片防衰减表面处理效果。
基本信息
专利标题 ：
电池片防衰减表面处理臭氧浓度实时监测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022346828.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-20
授权号 ：
CN212907673U
授权日 ：
2021-04-06
发明人 ：
沈晓
申请人 ：
江苏格林保尔光伏有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市武进高新技术产业开发区龙门路1号
代理机构 ：
常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王美华
优先权 ：
CN202022346828.6
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L31/18
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2021-04-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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