一种高灵敏度MEMS石墨烯风速风向传感器芯片
授权
摘要
一种高灵敏度MEMS石墨烯风速风向传感器芯片，传感器包括：玻璃衬底，玻璃衬底上开设有多个玻璃通孔，玻璃通孔内设置有导热金属；测温组件，设置在玻璃衬底上表面且位于玻璃通孔顶部，用于检测电阻的变化；加热组件，设置在玻璃通孔底部，用于产生测量基准温度；以及互连组件，设置在互连组件两侧，导出测温组件的电信号。本实用新型的有益效果在于，本实用新型采用双面布局的形式，玻璃衬底上表面分布有检测单元测温，下表面设置有加热电阻加热，加热电阻发出的热量能够以最短的距离传导至石墨烯测温单元处，减少了单面布局的传感器热量由衬底表面传导至衬底背面的时间，因此能够大幅度的提高测风的精度、灵敏度以及响应速率。
基本信息
专利标题 ：
一种高灵敏度MEMS石墨烯风速风向传感器芯片
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022353248.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-21
授权号 ：
CN214622709U
授权日 ：
2021-11-05
发明人 ：
王俊强李孟委高经武刘佳政
申请人 ：
中北大学;中北大学南通智能光机电研究院
申请人地址 ：
山西省太原市学院路3号
代理机构 ：
北京惠智天成知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
刘莹莹
优先权 ：
CN202022353248.X
主分类号 ：
G01P5/12
IPC分类号 ：
G01P5/12 G01P13/02 G01D21/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P5/00
测量流体的速度，例如空气流；测量物体相对于流体的速度，例如船、航行器的速度
G01P5/10
通过测量热变量
G01P5/12
应用加热导体的电阻变化
法律状态
2021-11-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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