一种防飞晶反弹的划刀片防护机构
授权
摘要

本实用新型公开了一种防飞晶反弹的划刀片防护机构,包括工作台,所述工作台右侧顶面固接固定架,所述工作台顶面固接晶圆夹持组件。本实用新型实现了晶圆的悬空固定,在切割时,产生较多的晶体碎屑会出现在晶圆下方,由晶圆下方的第一气头进行处理吸取,晶体表面较少的碎屑则会由侧面的第二气头处理吸取,部分晶体飞弹的碎屑由于速率较快,无法及时被第二气头吸取,则会被挡板阻挡,在下落过程中由于速率降低,则会被第二气头吸取处理,避免了晶体飞弹至操作者处被操作者吸取的情况,还避免了晶体碎屑停留在晶圆表面,避免了由于碎屑导致划片刀切割使产生裂纹的情况,降低了切割过程中造成晶圆损坏的情况,减少经济损失。

基本信息
专利标题 :
一种防飞晶反弹的划刀片防护机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022354219.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-21
授权号 :
CN213829779U
授权日 :
2021-07-30
发明人 :
丁红
申请人 :
苏州工业园区代思科电子科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城20号楼3层300-29(集群登记)
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202022354219.5
主分类号 :
B28D7/00
IPC分类号 :
B28D7/00  B28D7/04  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D7/00
专门适用于与本小类其他各组的机械或其装置一起使用的附件
法律状态
2021-07-30 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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