一种光刻机机架金属涂层烘干装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种光刻机机架金属涂层烘干装置，包括：壳体，所述壳体的内侧壁通过轴承转动连接有第一丝杆，所述壳体的内侧壁通过轴承转动连接有第二丝杆，所述第一丝杆和第二丝杆以壳体的中心点为对称中心相对称，所述第一丝杆的顶部贯穿壳体的顶部，所述壳体的顶部安装有第一电机；生产时，需要烘干光刻机架零件，通过第一电机带动第一丝杆和第二丝杆转动，调节支架的上下位置，将光刻机架零件置于支架的转轴和导热管上方，调节支架的位置，直到光刻机架零件位于两个宽型管中间，烘干时，使得光刻机架零件的上表面和下表面接触到的热量接近相等，从而防止光刻机架零件的上下表面因不均热而形变。
基本信息
专利标题 ：
一种光刻机机架金属涂层烘干装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022369792.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-22
授权号 ：
CN213558194U
授权日 ：
2021-06-29
发明人 ：
何平胡志华
申请人 ：
苏州航菱微精密组件有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江经济技术开发区吉市西路688号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202022369792.3
主分类号 ：
B05D3/04
IPC分类号 ：
B05D3/04
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05D
对表面涂布流体的一般工艺
B05D3/00
涂布液体或其他流体的表面的预处理；已有涂层的后处理，例如要用液体或其他流体作后续涂布的已有的涂层的中间处理
B05D3/04
暴露在气体中
法律状态
2021-06-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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