一种InP清洗用水枪水压控制装置及包含它的水枪
授权
摘要
本实用新型公开了一种InP清洗用水枪水压控制装置及包含它的水枪，InP清洗用水枪水压控制装置，包括螺纹管、螺纹杆、螺帽和套环；螺纹管内侧设有内螺纹，螺纹管一端为控制端、另一端为连接端，螺纹管的连接端设有连接口，螺纹管的侧壁上设有两条相对设置、且与螺纹管的长度方向一致的长条滑孔；螺纹杆的一端连接螺帽，螺纹杆的另一端从螺纹管的控制端伸入螺纹管内、并与螺纹管内侧形成螺纹连接，螺帽留在螺纹管外；套环可旋转地连接在螺纹杆伸入螺纹管内一端的端部。上述装置可保证在InP衬底清洗过程中，出水水压一致，从而保证晶圆表面受水均匀，达到晶圆表面均匀清洗的效果，减轻了操作者的工作强度，提高了InP晶圆表面洁净度和一致性，提升了产品质量。
基本信息
专利标题 ：
一种InP清洗用水枪水压控制装置及包含它的水枪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022378279.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-23
授权号 ：
CN213612917U
授权日 ：
2021-07-06
发明人 ：
张成龙柯尊斌王卿伟
申请人 ：
中锗科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市溧水开发区中兴东路9号
代理机构 ：
南京中律知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李建芳
优先权 ：
CN202022378279.0
主分类号 ：
B08B3/02
IPC分类号 ：
B08B3/02 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2021-07-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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