一种新型双层离子筛网
授权
摘要
本实用新型公开了一种新型双层离子筛网，包括圆筒，圆筒上下两个开口分别安装有上层气体挡板和下层气体挡板，上层气体挡板分为中间区域和边缘区域，中间区域无开孔，边缘区域均匀分布有上层通孔；所述下层气体挡板均匀设有下层通孔。本实用新型与现有技术相比的优点是：本实用新型提升了灰化设备去胶速率的均匀性，同时针对不同的工艺压力和气体流量，可通过调节两层气体挡板的间距来实现高均匀性的稳定性，提高了设备的工艺能力。
基本信息
专利标题 ：
一种新型双层离子筛网
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022402971.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-26
授权号 ：
CN213424917U
授权日 ：
2021-06-11
发明人 ：
张志强张鹏
申请人 ：
上海稷以科技有限公司
申请人地址 ：
上海市闵行区东川路555号戊楼4026室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202022402971.2
主分类号 ：
H01J37/08
IPC分类号 ：
H01J37/08 H01J37/02
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置
H01J37/08
离子源；离子枪
法律状态
2021-06-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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