一种防止三甲基铝雾化废气废液堵塞管道系统
授权
摘要
本实用新型涉及一种防止三甲基铝雾化废气废液堵塞管道系统，包括三甲基铝原料柜、三甲基铝缓冲柜、三甲基铝分流盘、三甲基铝废气废液处理器、真空泵以及管道，所述管道包括VENT排放管与真空管道，所述管道外设有多个加热装置，所述VENT排放管和真空泵的排放管在远离真空泵出口处合并。本实用新型采用VENT排放管道加热法，有效的加强了三甲基铝雾化流体及部分三甲基铝液体有效流通，采用提前并入法，有效的减少了VENT排放的小口径管道的用量；采用多次吹扫法，有效的减少AL2O3粉末的积累。
基本信息
专利标题 ：
一种防止三甲基铝雾化废气废液堵塞管道系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022408791.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-26
授权号 ：
CN213872214U
授权日 ：
2021-08-03
发明人 ：
孙兆冉
申请人 ：
浙江东开半导体科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市经济技术开发区白杨街道科技园路57号17幢915-918室
代理机构 ：
杭州裕阳联合专利代理有限公司
代理人 ：
金方玮
优先权 ：
CN202022408791.5
主分类号 ：
F17D1/02
IPC分类号 ：
F17D1/02 F17D1/08 F17D3/01 F17D1/18 B08B3/02
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F17
气体或液体的贮存或分配
F17D
管道系统；管路
F17D
管道系统；管路
F17D1/00
管道系统
F17D1/02
用于气体或蒸气的
法律状态
2021-08-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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