本实用新型公开了一种磷酸副产物氟硅酸生产无水氟化氢的微反应装置，属于微反应领域，包括主体、阀门、反应箱、第一出气管道、储存箱、储存罐和阻隔层，其特征在于，所述主体外部左侧的上方安装有进液管道，进液管道上设置有阀门；所述主体上半部分内部的左侧安装有反应箱，进液管道贯穿主体的左侧内壁和反应箱的左侧内壁一直延伸进反应箱中，反应箱的右侧连接有第一出气管道，第一出气管道的中间位置安装有气压泵，第一出气管道远离气压泵的一端与干燥室相连。本实用新型设置了传感器和报警器，一旦出现泄漏，工作人员能及时做出反应；设置了储存箱和储存罐，方便运输，在运输时发生泄漏，会被水吸收，不会对环境和工作人员造成伤害。