本实用新型公开了一种化学机械抛光用清洗干燥装置，包括工作箱，包括工作箱内腔的底面固定安装有吸水泵，吸水泵的一侧固定套接有第一水管，第一水管的一端固定连接有蓄水箱，吸水泵的另一侧固定套接有第二水管，工作箱的顶面设有干燥机构，干燥机构的顶面固定连接有伸缩管，伸缩管的外壁设有控制阀，伸缩管的一端连通有第一热风管。上述方案中，所述吸水泵、蓄水箱和喷水头之间相互配合，产生了将清洗的水通过第一水管和第二水管输送至喷水头进行清洗的效果，通过设置调节阀和驱动圆盘，可以起到对工件材料全方面清洗的作用，所述漏斗、过滤装置和进水管之间相互配合，实现了对水资源的回收利用的效果，从而节约水资源，减少经济开销。