本实用新型涉及气体切换装置技术领域，且公开了一种高纯气路系统的气体切换装置，包括外壳，所述外壳底部固定安装有分流总管，所述分流总管顶端左右两侧均固定安装有减压器，所述分流总管顶端固定安装有第一压力表，所述减压器顶端固定安装有电磁阀，所述电磁阀顶端固定安装有单向阀，所述单向阀顶端固定安装有汇流总管，两个汇流总管的相对一侧均固定安装有球阀，该高纯气路系统的气体切换装置，通过控制箱的控制作用，两侧的电磁阀会进行开启和关闭，首先由一侧供气,这时该侧供气指示灯亮,待气压降到设定的切换压力时,该侧低压报警灯亮并立即换到另一侧供气,如此循环往复，进而达到了气体切换效率高的效果。