导杆清洁装置

授权

摘要

本实用新型公开了一种导杆清洁装置，包括第一清理机构，第一清理机构包括：第一进气部、第二进气部、固定部和毛刷；第一进气部设置有第一进气通道和第一出气孔，第一进气通道与第一出气孔连通；第二进气部设置有第二进气通道和第二出气孔，第二进气通道与第二出气孔连通；固定部设置出气通道，出气通道贯穿固定部的顶部与底部，第一进气部与第二进气部分别连接在固定部的顶部的左右两侧；第一进气部、第二进气部和固定部限定形成腔室，腔室分别与第一出气孔、第二出气孔和出气通道连通；毛刷安装在固定部的上部的左右两侧之间。本实用新型公开的导杆清洁装置，有利于减少附着在导杆上的微粒，提高承载在导杆上的原材基板的镀膜品质。

基本信息

专利标题：

导杆清洁装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022459567.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-10-29

授权号：

CN214030634U

授权日：

2021-08-24

发明人：

周磊窦沛静张竞中

申请人：

珠海和泽科技有限公司

申请人地址：

广东省珠海市金湾区联港工业区双林片区虹辉5路7号厂房3栋第一层

代理机构：

广州嘉权专利商标事务所有限公司

代理人：

张龙哺

优先权：

CN202022459567.9

主分类号：

B65G45/10

IPC分类号：

B65G45/10