一种CMP设备用压力传感器的防护结构

授权

摘要

本实用新型提供一种CMP设备用压力传感器的防护结构，涉及压力传感器技术领域，包括传送器和防护装置，所述传送器的表面固定连接有皮线，所述传送器的表面设有防护装置，所述防护装置包括有固定板，所述固定板与传送器滑动连接，所述固定板的表面滑动连接有滑块，所述滑块呈“L”形结构，所述滑块靠近传送器的一侧固定连接有凹槽板，所述固定板的表面固定连接有固定块，所述固定块的表面螺纹连接有螺杆，所述凹槽板借助螺杆与固定板滑动连接。本实用新型，解决了由于传送器为杆状结构，导致传送器受到外力撞击传感器时，会导致传感器与设备的连接处容易发生弯折，从而引起压力传感器与设备连接处的损坏，进而影响传感器的正常使用的问题。

基本信息

专利标题：

一种CMP设备用压力传感器的防护结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022472489.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-10-31

授权号：

CN212931742U

授权日：

2021-04-09

发明人：

刘欢

申请人：

天津昂嘉科技发展有限公司

申请人地址：

天津市武清区京津科技谷产业园祥园道160号122室-33

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202022472489.6

主分类号：

G01L1/26

IPC分类号：

G01L1/26 G01L19/00 G01L19/06