一种高控制精度和高重复定位精度多自由度平移台
授权
摘要
本实用新型提供了一种高控制精度和高重复定位精度多自由度平移台，包括第一平移台、第二平移台、平移驱动装置、光栅尺和光栅尺读取头，所述第一平移台和所述第二平移台滑动安装，所述平移驱动装置连接所述第一平移台和所述第二平移台，所述光栅尺位于所述第一平移台上，所述光栅尺读取头位于所述第二平移台上，所述光栅尺位于所述光栅尺读取头一侧。其中本实用新型的有益效果是：通过平移驱动装置结合光栅尺作为闭环反馈控制，实时反馈实际位置。实现高的控制精度和高的重复定位精度，可达到亚微米级。
基本信息
专利标题 ：
一种高控制精度和高重复定位精度多自由度平移台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022486460.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-11-02
授权号 ：
CN213655473U
授权日 ：
2021-07-09
发明人 ：
谢斌平池彬赵嘉峰
申请人 ：
费勉仪器科技（南京）有限公司;费勉仪器科技（上海）有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市江北新区智达路6号智城园区3号楼
代理机构 ：
上海国瓴律师事务所
代理人 ：
傅耀
优先权 ：
CN202022486460.3
主分类号 ：
F16C29/02
IPC分类号 ：
F16C29/02 F16H25/24
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16C
轴；软轴；在挠性护套中传递运动的机械装置；曲轴机构的元件；枢轴；枢轴连接；除传动装置、联轴器、离合器或制动器元件以外的转动工程元件；轴承
F16C
轴；软轴；在挠性护套中传递运动的机械装置；曲轴机构的元件；枢轴；枢轴连接；除传动装置、联轴器、离合器或制动器元件以外的转动工程元件；轴承
F16C29/00
用于只作直线运动零件的轴承
F16C29/02
滑动接触轴承
法律状态
2021-07-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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