本实用新型公开了一种用于纯水系统的臭氧消毒装置，包括反渗透膜和纯水罐，所述反渗透膜的上端连通有进水管，所述纯水罐的侧壁连通有排水管道，所述纯水罐底面连通有固定筒，所述固定筒内部安装有过滤组件，所述固定筒的侧壁连接有电磁阀，所述纯水罐的侧壁安装有臭氧发生器，所述臭氧发生器的工作电极伸入所述纯水罐内部。有益效果在于：通过臭氧发生器对纯水罐内部进行臭氧的制备，能够通过水泵实现管路中的水循环，实现对管路的循环消毒处理；通过单向阀能够对水的流动方向进行限制，避免了水的回流；并且过滤组件能够进行清洁和更换，使用更加简单便捷。