一种进料装置，适用于将基板移载至输送装置，该基板具有第一面及相反于该第一面的第二面。该进料装置包含输送机构及翻转机构。输送机构具有第一端及相反于该第一端的第二端，该输送机构适用于将该基板自该第一端朝该第二端输送，该基板在沿着水平方向延伸且该第一面朝上的状态。翻转机构设置于该输送机构，该翻转机构适用于翻转该基板，使该基板自沿着该水平方向延伸的状态转换至沿着垂直方向延伸且该第二面朝向该第一端的状态，使该基板可被该输送装置撷取而朝远离该输送机构的方向输送，借此基板的输送能同时具有以水平方式输送提升输送效率的优势，与以垂直式输送进入机台，提高机台内部的空间利用率的优势。