一种晶圆加工用可调式定位夹具
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶圆加工用可调式定位夹具，包括第一夹块，所述第一夹块的外侧固定有第一侧板，所述第一夹块的外侧固定有第二侧板，所述第一侧板与第二侧板大小相同，所述第一侧板的外侧固定有连接板，所述第一侧板通过连接板与第二侧板相互连接，所述第一夹块的上端开设有第一橡胶卡槽，所述第一夹块的上端固定有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆对称设置有两个，所述第一螺纹杆的外侧设置有第二夹块。该晶圆加工用可调式定位夹具，将第三夹块外侧的第二滑块沿着第二滑槽滑动至合适的位置，通过第一滑槽与第一滑块的滑动连接对第三夹块进行限位处理，拧紧第三旋钮对第二滑块的位置进行固定，实现了对晶棒的位置调整处理。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆加工用可调式定位夹具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022495967.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-11-02
授权号 ：
CN213647161U
授权日 ：
2021-07-09
发明人 ：
殷泽安殷志鹏
申请人 ：
苏州译品芯半导体有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市相城区黄埭镇春旺路12号
代理机构 ：
北京化育知识产权代理有限公司
代理人 ：
尹均利
优先权 ：
CN202022495967.5
主分类号 ：
B24B41/06
IPC分类号 ：
B24B41/06 B28D7/04
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B41/00
磨削机床或装置的部件，比如机架，床身，滑板，床头箱的
B24B41/06
工件支架，如可调中心架
法律状态
2021-07-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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