本实用新型公开了一种利用热阴极产生中和电子的射频离子赋能装置，包括栅极系统、气体隔离器、放电室、金属外壳、交流电源、偏置电源和阴极灯丝，放电室的外侧安装有第一线圈，放电室的一侧底部安装有气体隔离器，放电室的底部安装有第二线圈，第一线圈和第二线圈可根据不同设计情况进行调整，放电室的外侧安装有金属外壳，第二电源通过导线将正电压加载在第一栅极上，第一电源通过导线将负电压加载在第二栅极上，偏置电源将负电压加载在阴极灯丝，通过交流电源供电加热灯丝。该装置可以快速的获得本初启辉电子和中和电子流，提高设备的生产效率；并且可以以比较低的设备成本达到相同性能的离子束输出。