一种静电吸盘内嵌式测温堵头及其安装结构
授权
摘要
本实用新型提供了一种静电吸盘内嵌式测温堵头及其安装结构，所述静电吸盘内嵌式测温堵头的外形呈现一端有斜切口的圆柱状，在远离所述斜切口的端面上开设测温孔，并在侧面开设至少3个矩形环齿，所述安装结构包括带有导正安装孔的导正安装夹具和导正塞棒。本实用新型所述静电吸盘内嵌式测温堵头不仅可以通过斜切口设计使得在纵向方向上自动导正静电吸盘的堵头安装孔，还可以通过矩形环齿设计避免与堵头安装孔侧壁之间形成贯通间隙，而且在安装过程中，可以先通过固定导正安装夹具，使得堵头安装孔和导正安装孔的轴线重合，再通过导正塞棒将测温堵头塞进堵头安装孔内，避免了人工敲击造成的静电吸盘报废或者漏气。
基本信息
专利标题 ：
一种静电吸盘内嵌式测温堵头及其安装结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022520351.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-11-04
授权号 ：
CN213422445U
授权日 ：
2021-06-11
发明人 ：
姚力军边逸军潘杰王学泽黄艾东罗明浩
申请人 ：
宁波江丰电子材料股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路
代理机构 ：
北京远智汇知识产权代理有限公司
代理人 ：
王岩
优先权 ：
CN202022520351.9
主分类号 ：
G01K1/143
IPC分类号 ：
G01K1/143
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01K
温度测量；热量测量；未列入其他类目的热敏元件
G01K1/143
用于测量表面温度
法律状态
2021-06-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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