一种晶圆生产加工专用测试装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶圆生产加工专用测试装置，包括底座，所述底座的表面设有四个支撑杆与工作台，所述支撑杆的顶端设有支撑板，所述支撑板上设有支架、夹持块，所述支架上设有探测镜，所述探测镜底端与工作台相对，所述夹持块上设有探针头，所述探测镜的底端侧面设有固定块，所述固定块上设有卡块，所述卡块的另一端设有稳固块，所述稳固块的底部设有转杆，所述转杆的另一端设有盖板，所述转杆靠近稳固块的端部外侧套设有固定环；探针头上连接有较长的导线，导线较长的部分环绕在绕线杆的外侧及探针头上的导线收卷在放线盒内部，挡板阻挡住收卷的导线，避免导线较长被扯动进而影响探针头的稳定性，保证了晶圆测试过程的稳定性。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆生产加工专用测试装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022527810.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-11-05
授权号 ：
CN213707381U
授权日 ：
2021-07-16
发明人 ：
李传银
申请人 ：
苏州市永辰芯微电子有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴中区胥口镇吴中大道5068号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202022527810.6
主分类号 ：
B65H75/38
IPC分类号 ：
B65H75/38
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65H
搬运薄的或细丝状材料，如薄板、条材、缆索
B65H75/00
贮存条材、条带或细丝状材料，如在线轴上
B65H75/02
盘绕的、卷绕的或折叠的材料用的芯子、成型器、支承件或夹持器，如线轴、心轴、绕线筒、圆锥形线圈管、罐
B65H75/34
专门适用于或安装供贮存和重复放出和重新贮存为特殊目的、提供各种长度材料的，例如锚固的软管、动力电缆
B65H75/38
涉及芯子或成型器的使用，芯子或成型器在贮存的材料包装件内并支承贮存的材料包装件
法律状态
2021-07-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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