一种聚醚酰亚胺镀膜装置
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摘要
本实用新型公开了一种聚醚酰亚胺镀膜装置，所述抽板与所述加热箱活动连接，并位于所述加热箱的顶端，所述冷却箱与所述加热箱固定连接，并位于所述加热箱的顶部，所述顶盖与所述加热箱活动连接，并位于所述加热箱的上方，所述升降体与所述顶盖活动连接，并位于所述顶盖的下方，所述夹持板与所述升降体固定连接，并位于所述升降体的下方，所述循环管与所述冷却箱固定连接，并位于所述冷却箱的侧面，所述水箱与所述循环管固定连接，并位于所述加热箱的上方，完成聚醚酰亚胺的加热沉积后，通过所述升降体将基片上升至上升冷却箱内，通过所述循环管内的冷却液循环导热，使所述冷却箱内的温度的快速降低，加快了薄膜的冷凝过程。
基本信息
专利标题 ：
一种聚醚酰亚胺镀膜装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022529669.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-11-04
授权号 ：
CN213951328U
授权日 ：
2021-08-13
发明人 ：
汤立新汤佳唯
申请人 ：
镇江阿尔法特种镀膜科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省镇江市京口区新区大港镇澄路198号
代理机构 ：
北京挺立专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
郭建军
优先权 ：
CN202022529669.3
主分类号 ：
C23C14/12
IPC分类号 ：
C23C14/12 C23C14/24 C23C14/58
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
C23C14/12
有机材料
法律状态
2021-08-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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