一种双面抛光机湿式硅片储存器
授权
摘要
本实用新型提供一种双面抛光机湿式硅片储存器，包括：暂存装置，用于暂存硅片；滑轨装置，设置在所述暂存装置的一端，用于支撑所述硅片滑动；硅片收集控制装置，设置在所述滑轨装置的一端，用于控制卡匣移动来收集所述硅片。本实用新型的有益效果是有效的解决需要人工完成上载和下载硅片的操作，增加不可控因素，费时费力、效率低，且很容易因操作不当导致硅片被污染或破损的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种双面抛光机湿式硅片储存器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022531984.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-11-05
授权号 ：
CN213905326U
授权日 ：
2021-08-06
发明人 ：
祝斌刘姣龙裴坤羽武卫孙晨光刘建伟王彦君由佰玲刘园常雪岩杨春雪谢艳袁祥龙张宏杰刘秒吕莹徐荣清
申请人 ：
天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司
申请人地址 ：
天津市滨海新区华苑产业区（环外）海泰东路12号
代理机构 ：
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
栾志超
优先权 ：
CN202022531984.X
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2021-08-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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