本发明公开了一种湿度控制原位检测装置，属于仪器分析领域。该装置包括湿度控制单元、样品室、样品检测单元及湿度监测单元，所述样品检测单元用于检测样品室中的样品，所述湿度控制单元和湿度监测单元分别与样品室连接。所述湿度控制单元包括载气单元、气体流量控制器及储液单元，载气单元与气体流量控制器连接；气体流量控制器分别与样品室、储液单元连接；储液单元与样品室连接。通过该装置可以精确控制样品室内样品所处的湿度环境，简单、易行，且相对湿度的调节范围较广，并能够稳定在某一确定的相对湿度±1％的范围。