一种防晶圆斜插的晶圆推片器治具
授权
摘要
本实用新型提供一种防晶圆斜插的晶圆推片器治具，包括治具平台、设置在治具平台上的晶圆匣和晶圆推送机构；所述晶圆推送机构包括推送组件和扫描检测组件，所述推送组件包括推送部，所述扫描检测组件包括移动式检测杆件和检测传感器，所述检测杆件横向设置在所述推送部上方，所述检测传感器为两个对应设置对射传感器，且分别安装在所述检测杆件的两端，所述检测传感器电连接有控制器；所述检测杆件为伸缩杆，所述检测杆件朝向所述晶圆匣的入口方向伸缩。本实用新型能够在晶圆推送之前检测晶圆是否按插准确到位，生产安全性高，避免损坏晶圆而造成作业事故。
基本信息
专利标题 ：
一种防晶圆斜插的晶圆推片器治具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202023261420.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-12-29
授权号 ：
CN216450600U
授权日 ：
2022-05-06
发明人 ：
张军伟谭中飞
申请人 ：
苏州恩硕无尘科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州吴中区横泾街道南官渡路521号12幢
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202023261420.5
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-05-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
