一种采用非接触式音圈马达直接驱动的定位平台
授权
摘要

本实用新型公开了一种采用非接触式音圈马达直接驱动的定位平台,包括滑动载物台、基座、位置检测传感器、标尺、滑动导向轴承、导向轴承固定板、硬限位块、气缸和音圈马达。本实用新型采用音圈马达直驱,具有零背隙,无后冲,零磁滞,高响应、超高频运动的特性;采用两对滑动导向轴承,增强了运动平台的刚性;再搭配高精度的位置检测传感器和标尺,可实现精确且可重复的纳米级运动。

基本信息
专利标题 :
一种采用非接触式音圈马达直接驱动的定位平台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202023273819.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-12-30
授权号 :
CN216430914U
授权日 :
2022-05-03
发明人 :
姚艺华印欣赖霏林浩元
申请人 :
雅科贝思精密机电(南通)有限公司
申请人地址 :
江苏省南通市高新区金鼎路西、杏园西路北侧南通博鼎机械产业国7号厂房
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202023273819.5
主分类号 :
F16M11/04
IPC分类号 :
F16M11/04  F16M11/18  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F16
工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热
F16M
非专门用于其他类目所包含的发动机或其他机器或设备的框架、外壳或底座;机座或支架
F16M
非专门用于其他类目所包含的发动机或其他机器或设备的框架、外壳或底座;机座或支架
F16M11/00
用于器械或其上制品的作为支承的机台或支架
F16M11/02
头部
F16M11/04
器械的固定方法;器械相对于支架允许调整的方法
法律状态
2022-05-03 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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