真空泵以及用于真空泵的电磁体单元
公开
摘要
提供一种能够抑制位移传感器受到噪音的影响、并且能够节省空间地设置的电磁体单元以及具备该电磁体单元的真空泵。电磁体单元（50）具备：径向电磁体（51），将轴（21）控制在既定位置；径向传感器（53），检出轴（21）的位置；印刷基板（55），夹设在径向电磁体（51）和径向传感器（53）之间，设置有将相互对应的两个径向传感器（53，53）的线圈（53c）彼此连结的传感器用配线图案（56）以及将对应的两个径向电磁体（51，51）的线圈（51c）彼此连结的电磁体用配线图案（57）。传感器用配线图案（56）以及电磁体用配线图案（57）配置为从轴向（A）看不重叠。
基本信息
专利标题 ：
真空泵以及用于真空泵的电磁体单元
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114270672A
申请号 ：
CN202080056439.X
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2020-08-17
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
时永伟
申请人 ：
埃地沃兹日本有限公司
申请人地址 ：
日本千叶县
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
李婷
优先权 ：
CN202080056439.X
主分类号 ：
H02K11/21
IPC分类号 ：
H02K11/21 H02K11/02 H02K11/00 F04D19/04
法律状态
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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