本公开案的实施方式一般关于有机气相沉积系统和与有机气相沉积系统相关的基板处理方法。在一个实施方式中，一种处理系统包括盖组件和多个材料输送系统。盖组件包括盖板及喷头组件，所述盖板具有第一表面和与第一表面相对设置的第二表面，所述喷头组件耦接至第一表面。喷头组件包括多个喷头。多个材料输送系统中的单独材料输送系统流体地连接至多个喷头中的一个或多个喷头，并设置在盖板的第二表面上。材料输送系统中的每个包括输送管线、输送管线阀、旁通管线及旁通阀，输送管线阀设置在输送管线上，旁通管线在输送管线阀和喷头之间设置的一点处流体地耦接至输送管线，旁通阀设置在旁通管线上。