小间距集成刀刃临时结合微结构
实质审查的生效
摘要
公开了用于允许晶片、芯片或小芯片的临时结合的方法和设备。为了进行测试,临时结合方法和设备包括:临时连接设备,该临时连接设备具有多个刀刃微结构中的一个,其中,临时连接设备在使用中用作用于探测小芯片的探针装置,各个小芯片包括具有一个或多个扁平接触焊盘的裸片,该一个或多个扁平接触焊盘与临时连接设备的多个刀刃微结构中的一个配合;挤压设备,该挤压设备用于在小芯片上的一个或多个扁平接触焊盘与临时连接设备的多个刀刃微结构中的一个之间施加压力,从而在临时连接焊盘与和该一个或多个扁平晶片焊盘接触的刀刃微结构之间形成临时结合;该挤压设备能够在测试小芯片期间或之前施加压力以维持临时结合连接。
基本信息
专利标题 :
小间距集成刀刃临时结合微结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114270201A
申请号 :
CN202080058164.3
公开(公告)日 :
2022-04-01
申请日 :
2020-08-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
艾瑞克·S·丹尼尔奥雷里奥·洛佩兹彼得·布鲁尔
申请人 :
HRL实验室有限责任公司
申请人地址 :
美国加利福尼亚州
代理机构 :
北京鸿德海业知识产权代理有限公司
代理人 :
栗东晖
优先权 :
CN202080058164.3
主分类号 :
G01R31/28
IPC分类号 :
G01R31/28 H01L21/66
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R31/28
•电路的测试,例如用信号故障寻测器
法律状态
2022-04-19 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 31/28
申请日 : 20200828
申请日 : 20200828
2022-04-01 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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