用于确定容器中的燃料的量的设备
公开
摘要
一种被配置成确定容器中所收集的燃料的量的设备，所述燃料用于在EUV辐射源中产生EUV辐射束。所述设备包括测力装置，所述测力装置被配置成测量与所述容器相关联、用于确定所述容器中所收集的所述燃料的质量的力。
基本信息
专利标题 ：
用于确定容器中的燃料的量的设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114270268A
申请号 ：
CN202080058300.9
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2020-07-17
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
G·梅利苏尔戈斯H·P·A·德赫拉夫A·P·瑞吉普玛T·J·斯豪滕
申请人 ：
ASML荷兰有限公司
申请人地址 ：
荷兰维德霍温
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
张启程
优先权 ：
CN202080058300.9
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20 H05G2/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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