固化膜的制造方法、光固化性树脂组合物、层叠体的制造方法及...
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种固化膜的制造方法、在上述固化膜的制造方法中使用的光固化性树脂组合物、包括上述固化膜的制造方法的层叠体的制造方法及包括上述固化膜的制造方法的电子器件的制造方法，上述固化膜的制造方法包括：第1曝光工序，对由光固化性树脂组合物形成的光固化性膜的一部分进行曝光；显影工序，通过显影液对上述曝光后的上述光固化性膜进行显影而获得图案；及第2曝光工序，通过包含波长与在上述第1曝光工序中使用的光的波长不同的光的光对上述图案进行曝光，上述光固化性树脂组合物为特定的组成。
基本信息
专利标题 ：
固化膜的制造方法、光固化性树脂组合物、层叠体的制造方法及半导体器件的制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114341731A
申请号 ：
CN202080059579.2
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2020-08-26
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
井上和臣榎本雄一郎岛田和人
申请人 ：
富士胶片株式会社
申请人地址 ：
日本国东京都
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
朱丹
优先权 ：
CN202080059579.2
主分类号 ：
G03F7/00
IPC分类号 ：
G03F7/00 G03F7/20 G03F7/004
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/00
申请日 : 20200826
申请日 : 20200826
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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