清洗剂组合物
实质审查的生效
摘要
本发明的课题在于提供一种有机物残渣的去除性能的经时稳定性优异且对金属层的耐腐蚀性也优异的半导体器件用清洗剂组合物。本发明的清洗剂组合物是半导体器件用清洗剂组合物，其包含：选自羟胺及羟胺盐中的一种以上的羟胺化合物；选自除聚氨基羧酸以外的羧酸系螯合剂及膦酸系螯合剂中的一种以上的螯合剂；及苯并三唑化合物。
基本信息
专利标题 ：
清洗剂组合物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114341328A
申请号 ：
CN202080060051.7
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2020-07-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
成田萌高桥智威水谷笃史
申请人 ：
富士胶片株式会社
申请人地址 ：
日本国东京都
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
薛海蛟
优先权 ：
CN202080060051.7
主分类号 ：
C11D7/26
IPC分类号 ：
C11D7/26 C11D7/32 C11D7/36 C11D11/00 C23G1/18 C23G1/20 H01L21/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C11
动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡；由此制取的脂肪酸；洗涤剂；蜡烛
C11D
洗涤剂组合物；用单一物质作为洗涤剂；皂或制皂；树脂皂；甘油的回收
C11D7/00
主要以非表面活性化合物为基料的洗涤剂组合物
C11D7/22
有机化合物
C11D7/26
含氧的
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C11D 7/26
申请日 : 20200708
申请日 : 20200708
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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