CMUT换能器
公开
摘要
本公开涉及一种CMUT换能器(200)，包括：涂覆有介电层(103)的基板(101)；形成在介电层(103)中的空腔(105)；悬挂在空腔(105)上方的导电或半导体膜(107)；以及介电涂层(104)，其被布置在空腔底部的基板(101)的上表面上或在空腔顶部的膜的下表面上，并且在俯视图中，介电涂层在空腔(105)的大部分表面上延伸，其中介电涂层(104)被构造成与空腔(105)相对。
基本信息
专利标题 ：
CMUT换能器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114302774A
申请号 ：
CN202080060492.7
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2020-08-25
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
多米尼克·格罗斯西里尔·梅尼埃尼古拉斯·塞内贡德
申请人 ：
维蒙股份公司
申请人地址 ：
法国图尔市
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
谭营营
优先权 ：
CN202080060492.7
主分类号 ：
B06B1/02
IPC分类号 ：
B06B1/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B06
一般机械振动的发生或传递
B06B
一般的机械振动的发生或传递（其特殊物理或机械方法见有关小类，如B07B1/40，B22C19/06，B23Q17/12，B24B31/06，E01C19/22；机械振动的测量，包括发生与测量的结合入G01H；利用声波反射或再辐射的系统入G01S15/00；勘探用地震能的产生入G01V1/02；机械振动的控制入G05D19/00；声音发送、传导或定向的一般方法或装置入G10K11/00；声波的合成入G10K15/02；压电器件、电致伸缩器件或磁致伸缩器件入H01L41/00；有振动磁体、电枢或线圈的电动机入
B06B1/00
产生亚声频、声频或超声频的机械振动的过程或设备
B06B1/02
利用电能
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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