基于MEMS的光声单元
公开
摘要
在第一方面中，本发明涉及一种光声气体传感器，其包括可填充气体的检测腔室和基准腔室，其中检测腔室和基准腔室是侧向上并排布置的并且通过传感器通道相连。存在于传感器通道上或者内的传感器允许测量光声信号。两个腔室都优选地位于垂直于同样包括在内的红外发射器所发射的红外辐射的平面内。除此之外，气体传感器由多层衬底形成。在其它方面中，本发明还涉及一种用于气体传感器的制造方法和一种用于通过气体传感器分析气体的方法。
基本信息
专利标题 ：
基于MEMS的光声单元
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114286935A
申请号 ：
CN202080060549.3
公开（公告）日 ：
2022-04-05
申请日 ：
2020-08-31
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
阿尔方斯·德厄阿希姆·比特纳伦尼·卡斯特利亚诺斯苏菲·比拉特弗兰克·黑德里希
申请人 ：
哈恩-席卡德应用研究学会
申请人地址 ：
德国维林根-施文宁根
代理机构 ：
成都超凡明远知识产权代理有限公司
代理人 ：
李楠
优先权 ：
CN202080060549.3
主分类号 ：
G01N21/17
IPC分类号 ：
G01N21/17 G01N29/24 G01F1/684
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
法律状态
2022-04-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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