气体放电光源中的氟检测
公开
摘要
一种方法包括：从气体放电室接收混合气体的至少一部分，其中该混合气体包含氟；使混合气体的部分中的氟与氢氧化物反应以形成包含氧和水的新的气体混合物；感测新的气体混合物内的水浓度；并且基于感测到的水浓度估计混合气体的部分内的氟浓度。
基本信息
专利标题 ：
气体放电光源中的氟检测
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114303059A
申请号 ：
CN202080060559.7
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2020-08-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
O·祖里塔
申请人 ：
西默有限公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
赵林琳
优先权 ：
CN202080060559.7
主分类号 ：
G01N33/00
IPC分类号 ：
G01N33/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N33/00
利用不包括在G01N1/00至G01N31/00组中的特殊方法来研究或分析材料
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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