用于准直宽带辐射的组件
公开
摘要
一种用于准直宽带辐射的组件，组件包括：凸折射单透镜，该凸折射单透镜具有用于将宽带辐射耦合到透镜的第一球形表面和用于将宽带辐射耦合出透镜的第二球形表面，其中第一球形表面和第二球形表面具有共同中心；以及安装部，用于在多个接触点处保持凸折射单透镜，该多个接触点的形心与共同中心重合。
基本信息
专利标题 ：
用于准直宽带辐射的组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114303102A
申请号 ：
CN202080061133.3
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2020-08-04
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
倪永锋罗纳德·弗兰西斯克斯·赫尔曼·休格斯A·J·A·布朗
申请人 ：
ASML荷兰有限公司
申请人地址 ：
荷兰维德霍温
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
胡良均
优先权 ：
CN202080061133.3
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20 G03F9/00 G02B27/30 G02B7/02 G02B6/32 G02B3/00 G01N21/95
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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