光扫描系统的制造方法、光扫描装置的制造方法及数据获取方法
实质审查的生效
摘要

本发明的光扫描系统的制造方法具备:组装各自具备反射镜器件和磁铁的多个装置结构的工序;针对多个装置结构中的各个,获取第一数据以及第二数据的工序,其中,第一数据用于修正相对于电流信号的频率的变化的反射镜的摆动角的变化,第二数据用于修正以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜从Y轴的偏离及以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜从X轴的偏离的至少一方;针对多个装置结构中的至少一个装置结构,获取用于修正相对于使用温度的变化的反射镜的摆动角的变化的第三数据的工序;以及将第一数据及第二数据在保持多个装置结构中的各个和第一数据及第二数据的对应关系的状态下保存于存储部,并且将第三数据保存于存储部的工序。

基本信息
专利标题 :
光扫描系统的制造方法、光扫描装置的制造方法及数据获取方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114341702A
申请号 :
CN202080061969.3
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2020-09-02
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
铃木大几藁科祯久北浦隆介河冈秀宜
申请人 :
浜松光子学株式会社
申请人地址 :
日本静冈县
代理机构 :
北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人 :
杨琦
优先权 :
CN202080061969.3
主分类号 :
G02B26/10
IPC分类号 :
G02B26/10  H02K15/00  H02K33/18  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置,例如,开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
G02B26/10
扫描系统
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 26/10
申请日 : 20200902
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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