输送车系统
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种桥式输送车系统，具备：行驶导轨；桥式输送车，在行驶导轨上行驶而输送FOUP，具有贮存非活性气体的罐，在FOUP的输送中从罐向FOUP的内部供给非活性气体；以及气体供给装置，沿着行驶导轨设置，向桥式输送车的罐供给非活性气体。
基本信息
专利标题 ：
输送车系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114365271A
申请号 ：
CN202080063388.3
公开（公告）日 ：
2022-04-15
申请日 ：
2020-07-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
本告阳一
申请人 ：
村田机械株式会社
申请人地址 ：
日本京都府
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
夏斌
优先权 ：
CN202080063388.3
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2022-05-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/673
申请日 : 20200727
申请日 : 20200727
2022-04-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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