具有远心转换器的放大率恒定的多级光学装置
公开
摘要
一种预对准系统，所述预对准系统包括被配置成收集来自图案形成装置的衍射束的公共物镜组，其中公共物镜组还被配置成在预对准系统的物空间中产生远心度。预对准系统还包括具有至少一个图像透镜系统的多路径传感阵列，其中至少一个图像透镜系统包括远心转换器透镜，所述远心转换器透镜被配置成在预对准系统的像空间中产生远心度。
基本信息
专利标题 ：
具有远心转换器的放大率恒定的多级光学装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114391125A
申请号 ：
CN202080063621.8
公开（公告）日 ：
2022-04-22
申请日 ：
2020-08-25
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
L·雷日科夫Y·乌拉迪米尔斯基
申请人 ：
ASML控股股份有限公司
申请人地址 ：
荷兰维德霍温
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
张启程
优先权 ：
CN202080063621.8
主分类号 ：
G03F9/00
IPC分类号 ：
G03F9/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F9/00
原版、蒙片、片框、照片、图纹表面的对准或定位，例如自动地
法律状态
2022-04-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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