基于X射线检测的过程控制方法及系统
公开
摘要
在一实施例中，X射线检测系统可以为由第一工具处理的感兴趣样本捕获一个或多个X射线图像。X射线检测系统可以与第一工具在线，并且其检测速度可以为每分钟300mm2以上。系统可以基于X射线图像实时确定与感兴趣样本相关的计量信息。计量信息可以指示与感兴趣样本相关联的样本参数超出预定范围。系统可以向一个或多个第一工具或一个或多个第二工具提供指令或数据，以根据计量信息调整与各自工具相关联的过程参数。调整后的过程参数可以降低处理与超出预定范围的样本参数相关的用于处理后续样本的各自工具的误差概率。
基本信息
专利标题 ：
基于X射线检测的过程控制方法及系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114450583A
申请号 ：
CN202080064518.5
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2020-07-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
大卫·刘易斯·阿德勒斯科特·约瑟夫·朱勒
申请人 ：
布鲁克纳米公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
宋融冰
优先权 ：
CN202080064518.5
主分类号 ：
G01N23/04
IPC分类号 ：
G01N23/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N23/00
利用波或粒子辐射来测试或分析材料，例如未包括在G01N3/00-G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00中的X射线或中子
G01N23/02
通过使辐射透过材料
G01N23/04
并形成材料的图片
法律状态
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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