低温热流量比控制器
公开
摘要
本文提供一种用于流量比控制器的方法和设备。在一些实施方式中,流量比控制器包括入口;多个通道,所述多个通道从所述入口延伸到对应的多个出口;旁通管,所述旁通管从所述多个通道中的每个通道延伸,所述旁通管将来自所述通道的流量的一小部分转移并接着使所述流量的所述一小部分的返回到所述通道;及耦接至所述旁通管的热质量流量计,所述热质量流量计具有第一温度传感器、第二温度传感器与设置在所述第一温度传感器与所述第二温度传感器之间的加热元件。控制器经配置以基于在第一温度传感器和第二温度传感器之间所测得的温度差来确定通过多个通道中的每个通道的流速。
基本信息
专利标题 :
低温热流量比控制器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114424138A
申请号 :
CN202080065091.0
公开(公告)日 :
2022-04-29
申请日 :
2020-09-22
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
迈克尔·库特尼阿什利·M·奥卡达
申请人 :
应用材料公司
申请人地址 :
美国加利福尼亚州
代理机构 :
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 :
徐金国
优先权 :
CN202080065091.0
主分类号 :
G05D11/13
IPC分类号 :
G05D11/13 H01J37/32 G01F1/68 G01F1/74 G01F1/684 G01F1/698 G01F15/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制;调节
G05D
非电变量的控制或调节系统
G05D11/00
流量比率控制入G05D21/00;湿度控制入G05D22/00;黏度控制入G05D24/00)
G05D11/02
两个或两个以上流动的流体或液态材料的比率控制
G05D11/13
以使用电装置为特征的
法律状态
2022-04-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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