用于半导体工艺工具中的静电耗散的超薄保形涂层
实质审查的生效
摘要
在一些实施方式中揭露了一种用超薄电气耗散材料涂覆以提供从涂层到接地的耗散路径的腔室部件(例如终端受动器主体)。所述涂层可以经由化学前驱物沉积来沉积以用高成本效益的方式提供均匀、保形、且不含孔隙的涂层。在所述腔室部件包括终端受动器主体的一个实施方式中，所述终端受动器主体可以进一步包括可替换接触垫以用于支撑基板，且接触垫头的接触表面也可以用电气耗散材料涂覆。
基本信息
专利标题 ：
用于半导体工艺工具中的静电耗散的超薄保形涂层
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114424676A
申请号 ：
CN202080066006.2
公开（公告）日 ：
2022-04-29
申请日 ：
2020-09-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
加亚特里·纳图吉蒂卡·巴贾普莉娜·古拉迪雅达尔尚·撒卡尔大卫·芬威克何晓明桑尼·塞帕埃莱珍妮弗·孙拉尹库曼·塔努杰弗里·赫金斯卡鲁帕萨米·穆图卡马特兹阿伦·达雅兰
申请人 ：
应用材料公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐金国
优先权 ：
CN202080066006.2
主分类号 ：
H05F1/02
IPC分类号 ：
H05F1/02 C23C16/06 C23C16/455 H01J37/32 H01L21/677 B25J18/00 B25J19/00
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H05F 1/02
申请日 : 20200928
申请日 : 20200928
2022-04-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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