制造包括吸气剂材料的用于检测电磁辐射的装置的方法
公开
摘要
本发明涉及一种用于制造检测装置的方法，该检测装置包括由矿物牺牲层(14、15)覆盖的至少一个热检测器(20)、由含碳牺牲层(17)覆盖的至少一个吸气剂部分(13)、以及包围热检测器和吸气剂部分的薄封装层(31)。制造方法包括产生延伸通过矿物牺牲层(14、15)并且通向衬底(10)的通孔(16)的步骤，以及沉积含碳牺牲层(17)以便覆盖位于通孔(16)中的吸气剂部分(13)并完全填充通孔(16)的步骤。
基本信息
专利标题 ：
制造包括吸气剂材料的用于检测电磁辐射的装置的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114502503A
申请号 ：
CN202080068129.X
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2020-09-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
若弗鲁瓦·迪蒙塞巴斯蒂安·贝克尔
申请人 ：
原子能和替代能源委员会
申请人地址 ：
法国巴黎
代理机构 ：
北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
程强
优先权 ：
CN202080068129.X
主分类号 ：
B81C1/00
IPC分类号 ：
B81C1/00 B81B7/00 G01J5/04 G01J5/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81C
专门适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备
B81C1/00
在基片内或其上制造或处理的装置或系统
法律状态
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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