光照射装置
公开
摘要
光照射装置(1)具备：壳体(10)；光源部(40)，其容纳于壳体(10)，从壳体(10)的光射出窗(12w)照射光；以及冷却部(50)，其设置于壳体(10)，通过气体将光源部(40)所发出的热排出至壳体(10)之外。冷却部(50)具有：导入部(51)，其接受气体的供给；及热交换部(70)，其使气体接收光源部(40)所发出的热；以及流通部(60)，其从导入部(51)将气体导引至热交换部(70)。流通部(60)包含：第一流路(61)，其从导入部(51)接受气体，并且沿Z方向延伸；以及第二流路(62)，其从第一流路(61)接受气体，并且沿Y方向延伸，且连接于热交换部(70)。第一流路(61)包含流路面积比导入部的流路面积大的部分。
基本信息
专利标题 ：
光照射装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114585859A
申请号 ：
CN202080068968.1
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2020-09-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
村山恭一宫本义照松井良太郎柏原裕也
申请人 ：
浜松光子学株式会社
申请人地址 ：
日本静冈县
代理机构 ：
北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨琦
优先权 ：
CN202080068968.1
主分类号 ：
F21V29/503
IPC分类号 ：
F21V29/503 F21V29/60 F21V29/76 F21V29/83
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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