控制样本检验的工艺
公开
摘要
本发明提供用于控制样本检验的工艺的方法及系统。一个系统包含一或多个计算机子系统，所述一或多个计算机子系统经配置用于确定针对样本上的关注区域的多个例项产生的差异图像的统计特性，及确定所述统计特性相较于针对一或多个其它样本上的所述关注区域的多个例项产生的差异图像的统计特性的变动。另外，所述一或多个计算机子系统经配置用于基于所述变动确定用于检测所述样本上的所述关注区域中的缺陷的一或多个参数的一或多个改变。
基本信息
专利标题 ：
控制样本检验的工艺
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114503155A
申请号 ：
CN202080069658.1
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2020-09-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
B·布拉尔李胡成S·帕克
申请人 ：
科磊股份有限公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
刘丽楠
优先权 ：
CN202080069658.1
主分类号 ：
G06T7/00
IPC分类号 ：
G06T7/00 G06T7/143 G06T7/174 G01N21/95 G01N27/62
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算；推算或计数
G06T
一般的图像数据处理或产生
G06T7/00
图像分析
法律状态
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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