用于计量的信号域适应
公开
摘要
使用第一计量数据及第二计量数据训练机器学习模型以基于装置区域的计量数据来预测计量目标的计量数据。所述第一计量数据是针对使用制造工艺制造的半导体裸片上的装置区域的多个例子。所述第二计量数据是针对含有与所述装置区域中的结构相异的结构的计量目标的多个例子。使用所述经训练机器学习模型基于所述装置区域的例子的第三计量数据来预测所述计量目标的第四计量数据。使用所述计量目标的配方基于所述第四计量数据来确定所述计量目标的一或多个参数。至少部分基于所述一或多个参数来监测及控制所述制造工艺。
基本信息
专利标题 ：
用于计量的信号域适应
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114503123A
申请号 ：
CN202080070067.6
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2020-10-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
S·潘戴夫
申请人 ：
科磊股份有限公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
刘丽楠
优先权 ：
CN202080070067.6
主分类号 ：
G06N3/04
IPC分类号 ：
G06N3/04 G06N3/08 G06N20/00 G01B11/00 G01B11/24 G01B11/26 G01N21/21 G01N21/55 G01N23/04 G01N23/20 G01N23/201 G01N23/2251 G03F7/20 H01L21/67
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算；推算或计数
G06N
基于特定计算模型的计算机系统
G06N3/00
基于生物学模型的计算机系统
G06N3/02
采用神经网络模型
G06N3/04
体系结构，例如，互连拓扑
法律状态
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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