透射型扩散器
公开
摘要
一种扩散器，所述扩散器被配置成接收和透射辐射。所述扩散器包括散射层(510)，所述散射层被配置成散射所接收的辐射，所述散射层(510)包括第一物质且具有在其中分布的多个空隙。所述第一物质可以是散射物质，或替代地，所述空隙中的至少一个空隙可以包含所述散射物质，并且所述第一物质具有与所述散射物质相比更低的折射率。
基本信息
专利标题 ：
透射型扩散器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114556167A
申请号 ：
CN202080071117.2
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2020-09-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
约斯特·安德烈·克鲁格斯特A·尼基帕罗夫W·J·恩格伦廉晋保罗·亚历山大·维梅伦哈利勒·戈凯·叶根
申请人 ：
ASML荷兰有限公司
申请人地址 ：
荷兰维德霍温
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
王益
优先权 ：
CN202080071117.2
主分类号 ：
G02B5/02
IPC分类号 ：
G02B5/02 G02B5/18 G02B27/09
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B5/00
除透镜外的光学元件
G02B5/02
漫射元件；远焦元件
法律状态
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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