在薄玻璃中光学冲裁出微孔
实质审查的生效
摘要
一种用于在工件(75)中选择性激光诱导蚀刻出微孔(81)的方法，其包括以下步骤：在所述工件(75)中产生(步骤71)从所述工件的射入侧(61A)延伸到所述工件的出射侧(61B)的修改(91)，所述修改(91)借助激光脉冲产生，所述激光脉冲具有环形横向强度分布(51A，51B，151)，所述环形横向强度分布沿着激光束(5)的传播方向(Z)至少在长度(L)上延伸，所述长度导致形成从所述工件的射入侧(61A)到所述工件的出射侧(61B)的修改(91)，其中，所述修改(91)将柱形体(77)与围绕所述修改(91)的剩余材料(79)界定开；和将具有所述修改(91)的工件(75)放入(步骤73)湿化学蚀刻浴(80)中，以将所述柱形体(77)与所述剩余材料(79)在结构上分离。
基本信息
专利标题 ：
在薄玻璃中光学冲裁出微孔
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114555281A
申请号 ：
CN202080071253.1
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2020-10-06
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
J·克莱纳D·弗拉姆M·凯泽
申请人 ：
通快激光与系统工程有限公司
申请人地址 ：
德国迪琴根
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
韩长永
优先权 ：
CN202080071253.1
主分类号 ：
B23K26/382
IPC分类号 ：
B23K26/382 B23K26/402 B23K26/60 B23K26/064 B23K26/70
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B23
机床；其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工，例如焊接、切割、或打孔
B23K26/36
除掉材料
B23K26/38
用于打孔或切割
B23K26/382
打孔
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B23K 26/382
申请日 : 20201006
申请日 : 20201006
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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