用于真空区的具有压力测量功能的调节装置
公开
摘要
一种用于在加工大气区(P)中能够移动的活动元件(19)的真空调节装置(10)，其具有：联接件(18)以及驱动单元，其具有电动马达(12)并且按照使得联接件(18、38)能够从正常位置调节至活动位置并返回的方式与联接件(18)相互作用。装置具有：机械接口，其将真空调节装置(10)连接至提供加工大气的加工容积；动态分离装置(15)，其将加工大气与外部大气区(A)分离；以及控制和处理单元，其至少电连接至驱动单元并被设计成控制电动马达(12)。控制和处理单元被设计成基于引擎工作参数的大小来得出引擎状态信息，并且具有压力确定功能，该压力确定功能按照如下方式配置，该方式使得借助于引擎状态信息与已知引擎设定点状态的比较来得出载荷差，并且基于载荷差来得出外部大气区(A)与加工大气区(P)之间的压力差。
基本信息
专利标题 ：
用于真空区的具有压力测量功能的调节装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114555989A
申请号 ：
CN202080071728.7
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2020-10-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
A·马齐诺托A·施恩莫塞尔A·霍弗F·巴隆M·兹卡尔
申请人 ：
VAT控股公司
申请人地址 ：
瑞士哈格
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
师玮
优先权 ：
CN202080071728.7
主分类号 ：
F16K3/02
IPC分类号 ：
F16K3/02 F16K37/00 F16K51/02 H01L21/687
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K3/00
闸门阀或滑阀，即带闭合元件的切断装置，闭合元件为了开启和关闭有沿阀座的滑动
F16K3/02
带有平的密封面；其所用填料
法律状态
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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