固体拍摄元件用滤光器的制造方法以及固体拍摄元件的制造方法
公开
摘要
包含如下步骤：在半导体基板上形成彩色滤光器；在半导体基板以及彩色滤光器上形成蚀刻阻挡层；在蚀刻阻挡层上形成红外光截止前驱层；形成将红外光截止前驱层中的位于彩色滤光器上的部分覆盖的抗蚀剂图案；以及利用抗蚀剂图案对红外光截止前驱层进行干蚀刻而形成红外光截止滤光器，干蚀刻的红外光截止前驱层的蚀刻速率与蚀刻阻挡层的蚀刻速率不同。
基本信息
专利标题 ：
固体拍摄元件用滤光器的制造方法以及固体拍摄元件的制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114586158A
申请号 ：
CN202080072980.X
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2020-11-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
明野康刚岩田玲子平井友梨
申请人 ：
凸版印刷株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
何立波
优先权 ：
CN202080072980.X
主分类号 ：
H01L27/146
IPC分类号 ：
H01L27/146 G02B5/20 G02B5/22
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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