使用基于扩散的模型的数值补偿SEM-诱发充电
实质审查的生效
摘要
公开了用于图像增强的系统和方法。用于增强图像的方法可以包括获取扫描电子显微镜(SEM)图像。该方法还可以包括模拟与SEM图像的位置相关联的扩散电荷。该方法还可以包括基于SEM图像和扩散电荷来提供增强的SEM图像。
基本信息
专利标题 ：
使用基于扩散的模型的数值补偿SEM-诱发充电
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114556516A
申请号 ：
CN202080073007.X
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2020-08-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
T·J·胡伊斯曼S·B·汉森
申请人 ：
ASML荷兰有限公司
申请人地址 ：
荷兰维德霍温
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
赵林琳
优先权 ：
CN202080073007.X
主分类号 ：
H01J37/22
IPC分类号 ：
H01J37/22 H01J37/28
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/22
与管子相联的光学或摄影装置
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/22
申请日 : 20200815
申请日 : 20200815
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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